词条 电子能谱分析 修订历史

关于电子能谱分析

当用一定能量的电子束、X射线或紫外光作用于试样，其表面原子不同能级的电子将激发成自由电子。这些电子带有试样表面的信息，也具有特征能量。收集这些电子并整理与记录它们的能量分布，就是电子能谱分析。与之相关的仪器便是电子能谱仪。若以X射线或紫外光为激发源作用于试样表面所获取的光电子能量的分布信息便是光电子能谱。以X射线为激发源时称为X光电子能谱（XPS）。XPS对化学分析最为有用，故又叫做化学分析用电子能谱法（ESCA）。特定的X射线激发源激发原子内层电子产生了具有特定动能的光电子。由于它与特定原子中特定电子的结合能相对应，因此可用于鉴别试样表面的组成与结构。若以紫外光作为激发源时只能激发原子、分子的价电子，所获得的能谱称为紫外光电子能谱（UPS）。由于所激发的价电子性质反映了它所处的化学环境，因此，UPS被利用来研究试样表面的成分、结构及其化学价态。用高能电子束为激发源获得试样的俄歇电子能量分 ...